為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ),用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?/div>
這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于科研院所、航空航天、動(dòng)力鋰電池,閥門(mén)、精密儀表、機(jī)械加工、電力、電廠、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。
普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀支持正壓檢漏,負(fù)壓檢漏,自動(dòng)跟蹤本底,提供快速可靠的測(cè)量結(jié)果,優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng),高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確??焖偾搴?,支持氮?dú)馄瓶眨皇墉h(huán)境氦氣干擾,快速降低本底,機(jī)器的性能支持7*24小時(shí)長(zhǎng)時(shí)間在線測(cè)試,機(jī)器的性能支持幾秒一次的高頻率測(cè)試,配有檢漏口精細(xì)過(guò)濾器,過(guò)濾細(xì)微雜質(zhì),確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷,雙銥絲離子源,有效的系統(tǒng)設(shè)計(jì),防大氣沖擊,支持定制檢漏工作臺(tái),更加便捷使用。